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使用分子泵也是有技巧的！你知道嗎？
更新更新時間：2021-04-30 瀏覽次數(shù)：4238
分子泵是一種獲得高真空和超高真空機械式真空泵，其分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵三大類。分子泵主要用于為制造太陽能電池和半導體提供*的真空環(huán)境。分子泵有著世界醉高水準的排氣能力，并且有一系列的產品可以滿足不同的太陽能電池模組和硅晶片的工藝需求，隨著市場的擴大，我們開發(fā)的腳步也從未停止。 分子泵的操作技巧：
1、分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應朝上，以防松弛造成漏氣;
2、不能在大氣狀態(tài)下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應的高閥，開啟分子泵;
3、當M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時，應檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;
4、在開分子泵前必須打開冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運轉后，必須關閉冷卻水閥;
5、每次停機后，務必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;
6、當出現(xiàn)報警信息“EF”時，應檢查冷卻水路是否通暢，可用器槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵，待后處理;
7、在分子泵出現(xiàn)問題而不能使用時，應暫停生產，手動充大氣后，更換備用的分子泵;
8、當始終達不到分子泵啟動條件時,應檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;
9、當分子泵出現(xiàn)故障時,須根據(jù)故障提示作相應處理。
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